一種多霍爾測試樣品的測試夾具、測試控制器及測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811586561.9 申請日 -
公開（公告）號 CN109696568A 公開（公告）日 2019-04-30
申請公布號 CN109696568A 申請公布日 2019-04-30
分類號 G01R1/04（2006.01）I; G01R31/26（2014.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張楊; 李弋洋 申請（專利權(quán)）人 中科芯電半導(dǎo)體科技（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張素紅
地址 100076 北京市大興區(qū)西紅門鎮(zhèn)金盛大街2號院23號樓二層（中科芯電）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多霍爾測試樣品的測試夾具、測試控制器及測試方法。該夾具連接于霍爾效應(yīng)測試儀，夾具上設(shè)有多塊焊盤，每塊焊盤上焊接有一個(gè)測試電極對應(yīng)用于測試一個(gè)樣品。測試控制器通過金屬導(dǎo)線與上述測試夾具的焊盤連接；控制器內(nèi)部有與焊盤個(gè)數(shù)對應(yīng)的4進(jìn)4出繼電器，每個(gè)繼電器對應(yīng)用于測試夾具上的一塊樣品。當(dāng)測試一個(gè)樣品時(shí)，夾持該樣品的焊盤對應(yīng)連接的測試控制器內(nèi)繼電器吸合，其余繼電器斷開，此時(shí)對該樣品進(jìn)行測試；當(dāng)測試另一樣品時(shí)，夾持該另一樣品的焊盤對應(yīng)連接的測試控制器內(nèi)繼電器吸合，其余繼電器斷開，此時(shí)對該另一樣品進(jìn)行測試。以往4塊MBE生長GaAs基本征GaAs結(jié)構(gòu)樣品霍爾效應(yīng)測試需2小時(shí)，目前僅1小時(shí)即可。