一種低輻射鍍膜線用遮板裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021905778.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213172547U 公開（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN213172547U 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) C23C14/35 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周慕蓉;羅雨瀟;付成杰;劉宇;張鐘宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中建材光電裝備（太倉(cāng)）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州言思嘉信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉巍
地址 215000 江蘇省蘇州市太倉(cāng)港港口開發(fā)區(qū)長(zhǎng)江大道189號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及磁控濺射鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種低輻射鍍膜線用遮板裝置，包括遮擋板和密封軸，所述遮擋板和所述密封軸的一端固定連接，所述密封軸的另一端設(shè)置有環(huán)套，所述密封軸上分別設(shè)置有第一密封件、第二密封件、U型無骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、軸套和擋圈，所述第一密封件、第二密封件、U型無骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、軸套和擋圈的外部包覆有密封套。本實(shí)用新型的有益效果是，通過設(shè)置的第一密封件、第二密封件、無骨架油封密封圈、骨架油封密封圈和擋圈，可以有效阻擋外部空氣進(jìn)入磁控濺射鍍膜的工作空間內(nèi)，遮擋板可以實(shí)現(xiàn)360度轉(zhuǎn)動(dòng)，而不影響其密封性能，裝置的整體結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，而且組裝安裝都比較方便，成本低。