一種碳化硅蒸汽噴射真空泵

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110711828.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113374742A 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN113374742A 申請公布日 2021-09-10
分類號 F04F5/20（2006.01）I;F04F5/44（2006.01）I;F04F5/46（2006.01）I 分類 液體變容式機械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 李志剛;歐寶雷 申請（專利權）人 無錫英羅唯森科技有限公司
代理機構 無錫智麥知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 宋春榮
地址 214000江蘇省無錫市惠山經濟開發(fā)區(qū)風電園風能路67-5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明所述的一種碳化硅蒸汽噴射真空泵的碳化硅噴咀具有高強度、高導熱、耐高溫等性能；本發(fā)明的碳化硅噴咀綜合了蒸汽腔和噴嘴兩個功能，使蒸汽噴射真空泵結構更簡單，組裝更方便；本發(fā)明的鋼襯四氟混合室殼體和擴散器采用鋼襯四氟材質，既能滿足防腐要求，又能相應減少設備投入，有利于推廣應用；本發(fā)明的過流件部分防腐性能優(yōu)異，可以滿足高溫、強腐蝕條件下的抽真空要求；通過金屬壓板法蘭將碳化硅噴咀密封面通過法蘭對夾的方式與襯四氟混合室法蘭連接在一起，增加了裝配的可靠性；本發(fā)明包括用于噴射蒸汽的碳化硅噴咀、鋼襯四氟混合室殼體、鋼襯四氟擴散器和金屬壓板法蘭。