微流體流量計及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711259530.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109870205A 公開（公告）日 2019-06-11
申請公布號 CN109870205A 申請公布日 2019-06-11
分類號 G01F1/684（2006.01）I; G01F1/696（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉德盟; 關(guān)一民; 張華 申請（專利權(quán)）人 上海傲?？萍加邢薰?/a>
代理機構(gòu) 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 上海新微技術(shù)研發(fā)中心有限公司;上海傲睿科技有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)菊園新區(qū)環(huán)城路2222號1幢1046室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明還提供一種微流體流量計及其制作方法，包括：半導體襯底，具有第一溫度傳感器、第二溫度傳感器、加熱單元及信號處理電路，其中，第一溫度傳感器與第二溫度傳感器設(shè)置于加熱單元兩側(cè)；微通道，通過第一溫度傳感器、加熱單元及第二溫度傳感器；以及空腔，形成于半導體襯底背面且與加熱單元位置對應。本發(fā)明可以實現(xiàn)微流控系統(tǒng)的微流體流量的片上檢測，實現(xiàn)傳感器、信號處理電路以及微流道的全集成設(shè)計，增加了微流控芯片的集成度。本發(fā)明的微流體流量計可以完成微流道流體流向和流速的測量，空腔可以防止熱量通過硅襯底流失，增加流速檢測的靈敏度。本發(fā)明采用共模負反饋的電路結(jié)構(gòu)設(shè)計增加傳感器的一致性，并降低噪聲。