膜片截止閥及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611195610.7 申請日 -
公開（公告）號 CN108217576B 公開（公告）日 2020-05-22
申請公布號 CN108217576B 申請公布日 2020-05-22
分類號 B81B7/02;B81C1/00 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 張華;關(guān)一民 申請（專利權(quán)）人 上海傲?？萍加邢薰?/a>
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 上海傲?？萍加邢薰?上海新微技術(shù)研發(fā)中心有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)城北路235號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種膜片截止閥及其制造方法，屬于膜片截止閥技術(shù)領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有結(jié)構(gòu)體積過大等問題而設(shè)計。本發(fā)明膜片截止閥包括進液口、進液流道、出液口、可動膜片、基底和氣體捕捉與釋放結(jié)構(gòu)；進液口和出液口位于同一個進液空腔內(nèi)；可動膜片、基底、以及氣體捕捉與釋放結(jié)構(gòu)圍攏成封閉的氣體空腔，氣體空腔內(nèi)包含與氣體捕捉與釋放結(jié)構(gòu)相匹配的氣體成分。本發(fā)明膜片截止閥及其制造方法實現(xiàn)了膜片截止閥的小型化，便于集成設(shè)計片上流體控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)全系統(tǒng)集成，適用于MEMS微流體領(lǐng)域；該膜片截止閥的結(jié)構(gòu)可以兼容驅(qū)動熱泵的結(jié)構(gòu)，從而可以有效地集成到一個系統(tǒng)內(nèi)部。