真空配管阱裝置、真空配管阱系統(tǒng)以及配管清理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910857270.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN110960931B 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號(hào) CN110960931B 申請公布日 2021-11-23
分類號(hào) B01D46/00（2006.01）I;B01D46/26（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 堀岡佑吉;初春 申請（專利權(quán)）人 河南一輪電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京庚致知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 李偉波;李永虎
地址 450003河南省鄭州市經(jīng)三路15號(hào)C1301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及的真空配管阱裝置、真空配管阱系統(tǒng)以及配管清理方法能夠防止粉塵爆炸，同時(shí)高效地捕集氧化硅粉塵，并降低清理作業(yè)所需要的精力或時(shí)間。真空配管阱系統(tǒng)（9）具備：上框體（21）；下框體（22），其與該上框體（21）能夠分離地連結(jié)，收納捕集由于單晶生長而產(chǎn)生的粉塵的捕集筒（29）；以及旋轉(zhuǎn)過濾器（70），其收納在所述捕集筒（29）內(nèi)，其中，通過圓筒（66）和條狀的多個(gè)阻燃性葉片過濾器（BF）來構(gòu)成該旋轉(zhuǎn)過濾器（70），圓筒（66）樞設(shè)在捕集筒（29）的底部，條狀的多個(gè)阻燃性葉片過濾器（BF）被配設(shè)成從該圓筒（66）的周面沿著徑向延伸。