真空配管阱裝置、真空配管阱系統(tǒng)以及配管清理方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910857270.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN110960931B | 公開（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申請公布號 | CN110960931B | 申請公布日 | 2021-11-23 |
| 分類號 | B01D46/00（2006.01）I;B01D46/26（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 堀岡佑吉;初春 | 申請（專利權）人 | 河南一輪電子科技有限公司 |
| 代理機構 | 北京庚致知識產權代理事務所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李偉波;李永虎 |
| 地址 | 450003河南省鄭州市經三路15號C1301室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及的真空配管阱裝置、真空配管阱系統(tǒng)以及配管清理方法能夠防止粉塵爆炸，同時高效地捕集氧化硅粉塵，并降低清理作業(yè)所需要的精力或時間。真空配管阱系統(tǒng)（9）具備：上框體（21）；下框體（22），其與該上框體（21）能夠分離地連結，收納捕集由于單晶生長而產生的粉塵的捕集筒（29）；以及旋轉過濾器（70），其收納在所述捕集筒（29）內，其中，通過圓筒（66）和條狀的多個阻燃性葉片過濾器（BF）來構成該旋轉過濾器（70），圓筒（66）樞設在捕集筒（29）的底部，條狀的多個阻燃性葉片過濾器（BF）被配設成從該圓筒（66）的周面沿著徑向延伸。 |
