硒化鋅的生長方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011041984.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112095150B 公開（公告）日 2022-02-22
申請公布號 CN112095150B 申請公布日 2022-02-22
分類號 C30B29/48（2006.01）I;C30B28/14（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 于金鳳;朱劉 申請（專利權(quán)）人 安徽中飛科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張向琨
地址 239000 安徽省滁州市瑯琊經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)南京路100號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種硒化鋅的生長方法包含步驟：a.將鋅置于化學(xué)氣相沉積爐中的坩堝中，氬氣置換沉積爐中的空氣，抽真空，真空度為3000Pa?10000Pa；b.將化學(xué)氣相沉積爐中的沉積腔室升溫至沉積溫度700℃?800℃，將坩堝升溫至蒸發(fā)溫度650℃?700℃；c.分別向坩堝、沉積腔室中通氣進(jìn)行硒化鋅的氣相沉積反應(yīng)，將氬氣通入到坩堝中，將氬氣和硒化氫通入到沉積腔室中，使得硒化鋅的沉積速率為50?150μm/h；d.反應(yīng)結(jié)束后，維持與沉積過程中相同的壓力和氣體流量，將沉積腔室繼續(xù)升溫50℃?170℃，進(jìn)行首次恒溫，之后降溫至500℃?650℃的范圍，進(jìn)行再次恒溫，然后降至室溫，得到硒化鋅產(chǎn)品。本公開提供的硒化鋅的生長方法可以生產(chǎn)大尺寸、加厚尺寸、高光學(xué)性能的多晶硒化鋅材料。