一種制備紅外復(fù)合材料的方法和真空化學(xué)氣相沉積爐
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011645398.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112853312A | 公開（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請公布號 | CN112853312A | 申請公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 劉羊;于金鳳;王和風(fēng) | 申請（專利權(quán)）人 | 安徽中飛科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 顏希文;朱燕華 |
| 地址 | 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號B區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種制備紅外復(fù)合材料的方法和真空化學(xué)氣相沉積爐，其中，所述方法包括在同一真空化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)連續(xù)沉積ZnSe和ZnS，將裝有固體鋅料的坩堝加熱至500～750℃，使鋅升華產(chǎn)生鋅蒸汽，然后將沉積室加熱至650～800℃，通入硒化氫，開始沉積ZnSe，沉積完成后，停止通入硒化氫，沉積室降溫至600～750℃，通入硫化氫氣體，開始沉積ZnS，整個沉積過程載流氣體的流量保持不變，沉積完成后進(jìn)行升溫退火處理，出爐即得ZnSe/ZnS紅外復(fù)合材料。本發(fā)明有效縮短了ZnSe/ZnS紅外復(fù)合材料的生產(chǎn)周期，簡化了生產(chǎn)工藝，降低了生產(chǎn)成本。?? |
