多晶硒化鋅的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011566453.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112795897A 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN112795897A 申請公布日 2021-05-14
分類號 C23C16/30;C23C16/02 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王和風(fēng);于金鳳;劉羊 申請（專利權(quán)）人 安徽中飛科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張向琨
地址 511517 廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號B區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種多晶硒化鋅的制備方法，其包括步驟：將厚度為30mm～50mm的多晶硒化鋅片的表面進(jìn)行處理，得到粗糙度小于Ra20的硒化鋅拋光片，將硒化鋅拋光片等離子清洗后置于石墨襯底上；步驟二，將鋅料安裝在坩堝內(nèi)；步驟三，將石墨襯底沉積器安裝在石墨坩堝上，再置于化學(xué)氣相沉積真空爐內(nèi)；步驟四，在室溫下，化學(xué)氣相沉積真空爐通氬氣；步驟五，坩堝升溫，石墨襯底沉積器升溫；步驟六，鋅開始蒸發(fā)，向石墨襯底沉積器內(nèi)通入氬氣攜帶的硒化氫氣體，向坩堝內(nèi)通入氬氣；步驟七，鋅蒸發(fā)完畢，停止通入硒化氫氣體，坩堝降溫，石墨襯底沉積器降溫，出爐得到最終整體厚度為60mm～100mm的多晶硒化鋅。本公開可以制備得到厚尺寸多晶硒化鋅材料。