一種吸波材料粉體表面氧化物陶瓷涂層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610665560.8 申請日 -
公開（公告）號 CN106399968B 公開（公告）日 2018-12-25
申請公布號 CN106399968B 申請公布日 2018-12-25
分類號 C23C16/40;C23C16/455 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 解明 申請（專利權(quán)）人 武漢艾特米克超能新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華仲龍騰專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 武漢艾特米克超能新材料科技有限公司
地址 430070 湖北省武漢市東湖高新區(qū)佳園路關(guān)東工業(yè)園7-5棟6178室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種吸波材料粉體表面氧化物陶瓷涂層的制備方法，包括以下步驟：將吸波材料粉體放入多孔的容器中；將多孔容器放入ALD反應(yīng)室內(nèi)，反復(fù)抽真空、置換氮?dú)馊?；對粉體在氮?dú)饣驓鍤獾臍夥障逻M(jìn)行流化或者將多孔容器旋轉(zhuǎn)達(dá)到粉末分散效果；根據(jù)沉積氧化物涂層的種類，選擇反應(yīng)前驅(qū)體，設(shè)置沉積工藝參數(shù)；在氮?dú)饣驓鍤鈹y帶下將前驅(qū)體蒸汽引入到ALD反應(yīng)室中；用氮?dú)饣驓鍤獯祾叻磻?yīng)室；在氮?dú)饣驓鍤鈹y帶下將氧源蒸汽引入到ALD反應(yīng)室中；用氮?dú)饣驓鍤獯祾叻磻?yīng)室；重復(fù)步驟，直至沉積到所需涂層厚度。本發(fā)明能夠在吸波材料粉體表面制備出均勻、致密、雜質(zhì)少、厚度可精確控制的氧化物陶瓷涂層，從而提升吸波材料粉體耐氧化和抗腐蝕。