一種納米硅激光氣相合成系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820811085.5 申請日 -
公開（公告）號 CN208554140U 公開（公告）日 2019-03-01
申請公布號 CN208554140U 申請公布日 2019-03-01
分類號 B01J19/12（2006.01）I; C01B33/027（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 李學耕; 劉芳; 戎俊梅 申請（專利權(quán)）人 普尼太陽能（杭州）有限公司
代理機構(gòu) 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 普尼太陽能（杭州）有限公司
地址 310051 浙江省杭州市濱江區(qū)西興街道濱文路9-1號2幢1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，包括：反應腔；激光器，設置于反應腔的一端，產(chǎn)生的激光通過反應腔入口射入到反應腔內(nèi)；硅烷氣瓶，所述硅烷氣瓶內(nèi)盛有硅烷，硅烷通過管道通入反應腔內(nèi)；束縛氮氣瓶，所述束縛氮氣瓶內(nèi)裝有用于為硅烷提供束縛保護作用的氮氣，該氮氣通過管道通入反應腔內(nèi)；混合氣瓶，所述混合氣瓶內(nèi)盛有氮氣和氫氣，該氮氣和氫氣通過管道通入反應腔內(nèi)；硅粉收集器，設置于反應腔的下端，用于收集反應腔內(nèi)產(chǎn)生的納米硅顆粒；真空抽取子系統(tǒng)，與反應腔連接，用于抽取反應腔內(nèi)的氣體，是反應腔內(nèi)呈現(xiàn)真空狀態(tài)。該系統(tǒng)能夠制備得到粒子大小可控、無粘連、粒度分布均勻的納米硅顆粒。