一種納米硅激光氣相合成系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201820811085.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN208554140U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN208554140U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-03-01 |
| 分類號(hào) | B01J19/12（2006.01）I; C01B33/027（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 李學(xué)耕; 劉芳; 戎俊梅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 普尼太陽(yáng)能（杭州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州天勤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 普尼太陽(yáng)能（杭州）有限公司 |
| 地址 | 310051 浙江省杭州市濱江區(qū)西興街道濱文路9-1號(hào)2幢1層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種納米硅激光氣相合成系統(tǒng)，包括：反應(yīng)腔；激光器，設(shè)置于反應(yīng)腔的一端，產(chǎn)生的激光通過(guò)反應(yīng)腔入口射入到反應(yīng)腔內(nèi)；硅烷氣瓶，所述硅烷氣瓶?jī)?nèi)盛有硅烷，硅烷通過(guò)管道通入反應(yīng)腔內(nèi)；束縛氮?dú)馄?，所述束縛氮?dú)馄績(jī)?nèi)裝有用于為硅烷提供束縛保護(hù)作用的氮?dú)猓摰獨(dú)馔ㄟ^(guò)管道通入反應(yīng)腔內(nèi)；混合氣瓶，所述混合氣瓶?jī)?nèi)盛有氮?dú)夂蜌錃?，該氮?dú)夂蜌錃馔ㄟ^(guò)管道通入反應(yīng)腔內(nèi)；硅粉收集器，設(shè)置于反應(yīng)腔的下端，用于收集反應(yīng)腔內(nèi)產(chǎn)生的納米硅顆粒；真空抽取子系統(tǒng)，與反應(yīng)腔連接，用于抽取反應(yīng)腔內(nèi)的氣體，是反應(yīng)腔內(nèi)呈現(xiàn)真空狀態(tài)。該系統(tǒng)能夠制備得到粒子大小可控、無(wú)粘連、粒度分布均勻的納米硅顆粒。 |
