一種優(yōu)化鈷基磁性薄膜電感材料磁性能的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011120297.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112509805B 公開（公告）日 2022-05-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN112509805B 申請(qǐng)公布日 2022-05-27
分類號(hào) H01F41/18（2006.01）I;H01F41/22（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐秀蘭;于廣華;馮春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東麥格智芯機(jī)電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市廣友專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 255400山東省淄博市臨淄區(qū)齊都鎮(zhèn)齊都路52號(hào)505室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種優(yōu)化鈷基磁性薄膜電感材料磁性能的方法，屬于信息存儲(chǔ)及電感技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明技術(shù)方案通過將沉積完畢后的樣品在真空環(huán)境下，進(jìn)行適當(dāng)溫度的熱處理，誘發(fā)其界面結(jié)構(gòu)的改變。通過界面處的Co?O軌道雜化強(qiáng)弱來調(diào)節(jié)鐵磁/非磁（Co基軟磁材料/MO）界面處的軌道結(jié)構(gòu)，得到有益的、適度的Co?O軌道雜化狀態(tài)，進(jìn)而調(diào)控鐵磁薄膜材料磁性能，具有工藝簡單、控制方便、效率高、成本低等優(yōu)點(diǎn)，適合應(yīng)用于未來信息存儲(chǔ)和電感技術(shù)中。