超高反?；魻栰`敏度薄膜材料、制備方法、磁傳感器及元件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510052492.3 申請日 -
公開（公告）號 CN104600193B 公開（公告）日 2017-07-04
申請公布號 CN104600193B 申請公布日 2017-07-04
分類號 H01L43/10;H01L43/06;H01L43/14 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于廣華;陳喜;于泠然;張靜言 申請（專利權(quán)）人 山東麥格智芯機電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京市廣友專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 于廣華;北京麥格納材科技有限公司
地址 255400 山東省淄博市臨淄區(qū)齊都鎮(zhèn)齊都路52號505室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種超高反常霍爾靈敏度薄膜材料、制備方法、磁傳感器及元件，所述超高反常霍爾靈敏度薄膜材料包括：第一Ta層，所述第一Ta層上方設(shè)置有CoxFey層，所述CoxFey層上方設(shè)置有金屬氧化層，所述金屬氧化層上方設(shè)置有第二Ta層，其中，0＜x＜100，x為整數(shù)，0＜y＜100，y為整數(shù)。本發(fā)明通過設(shè)置第一Ta層、CoxFey層、金屬氧化層和第二Ta層，易于界面軌道雜化調(diào)控各向異性場；又由于CoxFey層中的Co和Fe原子比例可調(diào)，可進一步調(diào)控各向異性場，從而有效提高反?；魻栰`敏度。