一種探針調(diào)節(jié)座

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022301220.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213749965U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213749965U 申請公布日 2021-07-20
分類號 G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊應(yīng)俊;顏建武;王勝利 申請（專利權(quán)）人 矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518172廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)龍城工業(yè)園3號廠房三樓東區(qū)、五樓中西區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出一種探針調(diào)節(jié)座。所述探針調(diào)節(jié)座包括，旋轉(zhuǎn)電機，及連接于所述旋轉(zhuǎn)電機的偏心部，旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動偏心部旋轉(zhuǎn)；偏心部設(shè)置有輸出軸，偏心部的旋轉(zhuǎn)軸線相對于輸出軸軸線偏移距離為d；安裝部，旋轉(zhuǎn)電機安裝于安裝部；探針連接部通過第一線性運動部連接于安裝部，使探針連接部能夠相對于安裝部沿第一方向運動；線性驅(qū)動部通過第二線性運動部連接于探針連接部，使線性驅(qū)動部能夠相對于探針連接部沿第二方向運動；所述線性驅(qū)動部沿同時平行于第一方向和第二方向的平面轉(zhuǎn)動連接于偏心部輸出軸。