自動(dòng)光刻機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811098888.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109240043B 公開（公告）日 2021-06-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN109240043B 申請(qǐng)公布日 2021-06-15
分類號(hào) G03F7/20;G03F9/00 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 張成安;魏純;肖樂 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518172 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)龍城工業(yè)園3號(hào)廠房三樓東區(qū)、五樓中西區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，它涉及一種自動(dòng)光刻機(jī)，其方案要點(diǎn)是：自動(dòng)光刻機(jī)，其包括機(jī)架，機(jī)架上的晶圓上料裝置用于將第一料盒內(nèi)的晶圓送入上料工位；取片機(jī)械手用于將晶圓送入晶圓校準(zhǔn)裝置；晶圓校準(zhǔn)裝置用于對(duì)取片機(jī)械手送入的晶圓進(jìn)行校準(zhǔn)；上片機(jī)械手用于將校準(zhǔn)后的晶圓送入雙工位旋轉(zhuǎn)載片裝置；雙工位旋轉(zhuǎn)載片裝置用于將上片機(jī)械手送來的晶圓送入光刻工位，且將經(jīng)光刻處理后的晶圓從光刻工位取出；光刻裝置用于對(duì)雙工位旋轉(zhuǎn)載片裝置上位于光刻工位的晶圓進(jìn)行光刻處理；下片機(jī)械手用于將雙工位旋轉(zhuǎn)載片裝置上經(jīng)光刻處理后的晶圓送入晶圓下料裝置；晶圓下料裝置用于將第二料盒內(nèi)的晶圓收納位送到下料工位，以接收下片機(jī)械手送入的晶圓。