一種調(diào)節(jié)針座及探針臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022300805.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213457024U 公開（公告）日 2021-06-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN213457024U 申請(qǐng)公布日 2021-06-15
分類號(hào) G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊應(yīng)俊;顏建武;王勝利 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518172廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)龍城工業(yè)園3號(hào)廠房三樓東區(qū)、五樓中西區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提出一種調(diào)節(jié)針座及探針臺(tái)。一種調(diào)節(jié)針座，旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝于機(jī)架，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸連接有凸輪；探針安裝部通過直線導(dǎo)軌連接于機(jī)架，且探針安裝部樞接有滾輪，旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)凸輪旋轉(zhuǎn)通過滾輪帶動(dòng)探針安裝部沿直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；吹氣部安裝于機(jī)架，且吹氣部的氣嘴朝向滾輪，氣嘴噴出的氣體使探針安裝部沿直線導(dǎo)軌限定的方向通過滾輪止抵于凸輪。提升凸輪與滾輪接觸的穩(wěn)定性，提升凸輪驅(qū)動(dòng)探針安裝部運(yùn)動(dòng)的位置精度。