自動光刻機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811098888.1 申請日 -
公開（公告）號 CN109240043A 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN109240043A 申請公布日 2021-06-15
分類號 G03F7/20;G03F9/00 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 張成安;魏純;肖樂 申請（專利權）人 矽電半導體設備（深圳）股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 518172 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)龍城工業(yè)園3號廠房三樓東區(qū)、五樓中西區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及光刻技術領域，它涉及一種自動光刻機，其方案要點是：自動光刻機，其包括機架，機架上的晶圓上料裝置用于將第一料盒內(nèi)的晶圓送入上料工位；取片機械手用于將晶圓送入晶圓校準裝置；晶圓校準裝置用于對取片機械手送入的晶圓進行校準；上片機械手用于將校準后的晶圓送入雙工位旋轉(zhuǎn)載片裝置；雙工位旋轉(zhuǎn)載片裝置用于將上片機械手送來的晶圓送入光刻工位，且將經(jīng)光刻處理后的晶圓從光刻工位取出；光刻裝置用于對雙工位旋轉(zhuǎn)載片裝置上位于光刻工位的晶圓進行光刻處理；下片機械手用于將雙工位旋轉(zhuǎn)載片裝置上經(jīng)光刻處理后的晶圓送入晶圓下料裝置；晶圓下料裝置用于將第二料盒內(nèi)的晶圓收納位送到下料工位，以接收下片機械手送入的晶圓。