一種硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)及探針臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023007903.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213752668U 公開（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN213752668U 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 林生財(cái);曾凡貴;劉振輝;王勝利 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518172廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)龍城工業(yè)園3號(hào)廠房三樓東區(qū)、五樓中西區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)及探針臺(tái)。一種硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括,第一吸附部；設(shè)置于第一吸附部、兩端分別連通第一伯努利吸盤和第二伯努利吸盤的第一導(dǎo)氣通道；所述第一導(dǎo)氣通道的等距中心連通于第一供氣通道；以及應(yīng)用所述硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的探針臺(tái)。首先啟動(dòng)的第一伯努利吸盤和第二伯努利吸盤氣壓同步且穩(wěn)定，從而增強(qiáng)硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)工作的穩(wěn)定性，降低硅片因受力不均引起損壞的風(fēng)險(xiǎn)。