制備AR膜的生產(chǎn)線
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN200710073630.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN101270467A | 公開(kāi)（公告）日 | 2008-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN101270467A | 申請(qǐng)公布日 | 2008-09-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/35(2006.01);C23C14/54(2006.01) | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 許生;徐升東;高文波;譚曉華;曹志剛;郭祖華;謝建軍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳豪威科技集團(tuán)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣東國(guó)暉律師事務(wù)所 | 代理人 | 深圳豪威真空光電子股份有限公司;深圳豪威科技集團(tuán)股份有限公司;豪威星科薄膜視窗（深圳）有限公司 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)高新技術(shù)工業(yè)村北區(qū)2號(hào)路豪威大廈 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種制備AR膜的生產(chǎn)線，設(shè)有進(jìn)出片真空室、過(guò)渡真空室、高真空室、鍍膜真空室、折返前過(guò)渡真空室、折返真空室和設(shè)置在真空室內(nèi)的基片架進(jìn)、出片傳送裝置，其中在進(jìn)出片真空室有進(jìn)出片旋轉(zhuǎn)門(mén)閥，在進(jìn)出片真空室與過(guò)渡真空室之間、高真空室與鍍膜室之間分別有高真空插板門(mén)閥，在各真空室的法蘭上分別開(kāi)有窄型法蘭口；在所有鍍膜真空室的進(jìn)片傳送裝置與出片傳送裝置之間有帶抽氣口的防濺射隔板；在鍍膜真空室上有兩套柱狀磁控濺射源；高真空室內(nèi)有低溫氣體吸附冷板；在折返前過(guò)渡真空室有膜層質(zhì)量在線檢測(cè)儀器；進(jìn)出片真空室和折返真空室分別連接有初抽真空泵組；高真空室、鍍膜真空室、過(guò)渡真空室、折返真空室分別配置有分子泵。 |
