一種電容觸摸屏鍍膜工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010566654.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111733384A 公開（公告）日 2020-10-02
申請公布號 CN111733384A 申請公布日 2020-10-02
分類號 C23C14/08(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 郭繁銳;梁銳生;鄭仁華;鄧青山;唐勇 申請（專利權(quán)）人 豪威星科薄膜視窗（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 深圳市深弘廣聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 向用秀
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)西麗街道朗山二號路8號豪威大樓四樓D區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電容觸摸屏鍍膜工藝，涉及顯示元件加工技術(shù)領(lǐng)域；電容觸摸屏鍍膜工藝包括以下步驟：基材處理；第一層靶材濺射，在所述基材上濺射TiOx靶材，以形成TiOx鍍膜層；第一合金層濺射，在所述TiOx鍍膜層上濺射Cu?Ni靶材，形成第一Cu?Ni合金鍍膜層；Cu層鍍膜濺射，在所述第一Cu?Ni合金鍍膜層上濺射Cu靶材，形成Cu層；第二合金層濺射，在所述Cu層上濺射Cu?Ni靶材，形成第二Cu?Ni合金鍍膜層。本發(fā)明利用第一Cu?Ni合金層對基材和Cu層進行二次銜接，通過Ni與其他材料的親和特性，提升附著力；通過第一Cu?Ni合金層對Cu層進行外層包覆，利用Cu?Ni合金自身的抗氧化能力，防止產(chǎn)品氧化，提升產(chǎn)品的壽命。??