星型雙回轉(zhuǎn)磁控濺射導(dǎo)電玻璃鍍膜生產(chǎn)線及生產(chǎn)工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200610062311.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101130452A 公開(kāi)（公告）日 2008-02-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN101130452A 申請(qǐng)公布日 2008-02-27
分類(lèi)號(hào) C03C17/23(2006.01);C23C14/35(2006.01) 分類(lèi) 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 許生;徐升東;莊炳河;曹志剛;高文波 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 豪威星科薄膜視窗（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳創(chuàng)友專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 深圳豪威真空光電子股份有限公司;深圳豪威科技集團(tuán)股份有限公司
地址 518054廣東省深圳市南山區(qū)深南大道市高新技術(shù)工業(yè)村W1A區(qū)一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種星型雙回轉(zhuǎn)磁控濺射導(dǎo)電玻璃鍍膜生產(chǎn)線及生產(chǎn)工藝，該生產(chǎn)線包括A面進(jìn)出片室、B面進(jìn)出片室、A面旋轉(zhuǎn)真空室、B面旋轉(zhuǎn)真空室、A面第一濺射工作室、B面第一濺射工作室、中間連接室、A面旋轉(zhuǎn)回架裝置、B面旋轉(zhuǎn)回架裝置；A面進(jìn)出片室、A面第一濺射工作室分別與A面旋轉(zhuǎn)真空室相銜接；B面進(jìn)出片室、B面第一濺射工作室分別與B面旋轉(zhuǎn)真空室相銜接；中間連接室二端分別與A面旋轉(zhuǎn)真空室、B面旋轉(zhuǎn)真空室相銜接。生產(chǎn)工藝中，通過(guò)同時(shí)進(jìn)行二個(gè)方向的生產(chǎn)流程控制，共用主要的生產(chǎn)設(shè)備，使相對(duì)同樣產(chǎn)能的現(xiàn)有生產(chǎn)線，本發(fā)明的生產(chǎn)線占地面積小，投入設(shè)備成本大大降低，生產(chǎn)維護(hù)成本也大幅度降低，經(jīng)濟(jì)效益與社會(huì)效益十分顯著。