制備AR膜的生產(chǎn)線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200710073630.1 申請日 -
公開（公告）號 CN100594256C 公開（公告）日 2010-03-17
申請公布號 CN100594256C 申請公布日 2010-03-17
分類號 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 許生;徐升東;高文波;譚曉華;曹志剛;郭祖華;謝建軍 申請（專利權(quán)）人 豪威星科薄膜視窗（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 廣東國暉律師事務(wù)所 代理人 深圳豪威真空光電子股份有限公司;深圳豪威科技集團股份有限公司;豪威星科薄膜視窗（深圳）有限公司
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)高新技術(shù)工業(yè)村北區(qū)2號路豪威大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種制備AR膜的生產(chǎn)線，設(shè)有進出片真空室、過渡真空室、高真空室、鍍膜真空室、折返前過渡真空室、折返真空室和設(shè)置在真空室內(nèi)的基片架進、出片傳送裝置，其中在進出片真空室有進出片旋轉(zhuǎn)門閥，在進出片真空室與過渡真空室之間、高真空室與鍍膜室之間分別有高真空插板門閥，在各真空室的法蘭上分別開有窄型法蘭口；在所有鍍膜真空室的進片傳送裝置與出片傳送裝置之間有帶抽氣口的防濺射隔板；在鍍膜真空室上有兩套柱狀磁控濺射源；高真空室內(nèi)有低溫氣體吸附冷板；在折返前過渡真空室有膜層質(zhì)量在線檢測儀器；進出片真空室和折返真空室分別連接有初抽真空泵組；高真空室、鍍膜真空室、過渡真空室、折返真空室分別配置有分子泵。