一種電容觸摸屏鍍膜工藝及觸摸屏

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010364591.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111560586A 公開（公告）日 2020-08-21
申請公布號 CN111560586A 申請公布日 2020-08-21
分類號 C23C14/34(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 梁銳生;郭繁銳;鄭仁華 申請（專利權(quán)）人 豪威星科薄膜視窗（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 深圳市深弘廣聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 向用秀
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)西麗街道朗山二號路8號豪威大樓四樓D區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電容觸摸屏鍍膜工藝及觸摸屏，涉及顯示元件加工技術(shù)領(lǐng)域；觸摸屏包括基層和通過靶材濺射依次敷設(shè)在所述基層上的ZrOx層、二氧化硅層和ITO層。本發(fā)明采用在線表面活性增強處理方式，創(chuàng)建結(jié)晶誘導(dǎo)層，采用ZrOx作為折射率匹配層的第一層，采用在線后離子源處理，激活與金屬層接觸的表面活性，有效改善傳統(tǒng)ITO膜對于金屬層的附著力，保證了屏幕性能。??