一種晶圓檢測單鏡頭組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011477488.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112505872A 公開（公告）日 2021-03-16
申請公布號 CN112505872A 申請公布日 2021-03-16
分類號 G02B13/18(2006.01)I;G03B17/02(2021.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G02B7/02(2021.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 梅力;胡冬云 申請（專利權(quán)）人 江蘇卓玉智能科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 226300江蘇省南通市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)杏園路288號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓檢測單鏡頭組件，包括安裝座和連接座，安裝座下端面開設安裝孔，連接座通過裝夾機構(gòu)固定于安裝孔內(nèi)，連接座螺紋連接鏡頭套筒安裝座，鏡頭套筒安裝座上安裝鏡頭套筒，鏡頭套筒上安裝鏡頭，鏡頭一側(cè)安裝光源和噴吹裝置，本發(fā)明結(jié)構(gòu)設計新穎，便于鏡頭的拆卸安裝和保養(yǎng)，另外，采用的鏡頭有效的矯正了像差，大大的提高了成像質(zhì)量，且具有較大的視場角，提高了晶圓檢測精度。??