一種晶圓檢測雙鏡頭模組

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011482902.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112485879A 公開（公告）日 2021-03-12
申請公布號 CN112485879A 申請公布日 2021-03-12
分類號 G02B7/02(2021.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 梅力;胡冬云 申請（專利權）人 江蘇卓玉智能科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 226300江蘇省南通市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)杏園路288號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓檢測雙鏡頭模組，包括安裝座、第一連接座和第二連接座，安裝座下端面分別安裝第一安裝孔和第二安裝孔，所述第一連接座、第二連接座分別通過裝夾機構固定于第一安裝孔和第二安裝孔，第一連接座螺紋連接第一鏡頭套筒安裝座，第一鏡頭套筒安裝座上安裝第一鏡頭套筒，第一鏡頭套筒上安裝第一鏡頭，第二連接座螺紋連接第二鏡頭套筒安裝座，第二鏡頭套筒安裝座上安裝第二鏡頭套筒，第二鏡頭套筒上安裝第二鏡頭，本發(fā)明結構設計新穎，采用雙鏡頭檢測，能夠提高檢測精度，此外，雙鏡頭便于拆裝和保養(yǎng)，延長了其使用壽命。??