一種晶圓檢測(cè)移動(dòng)平臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011482895.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112526311A | 公開（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112526311A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-19 |
| 分類號(hào) | G01R31/26(2014.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 梅力;胡冬云 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇卓玉智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226300江蘇省南通市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)杏園路288號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓檢測(cè)移動(dòng)平臺(tái)，包括底座和滑動(dòng)座，所述底座上安裝平行設(shè)置的第一滑軌和第二滑軌，底座上還安裝第三滑軌，且第三滑軌設(shè)置于第一滑軌和第二滑軌之間，第一滑軌兩端安裝第一擋塊，且第一滑軌端部與第一擋塊之間通過第一鎖緊螺栓固定，第二滑軌兩端安裝第二擋塊，且第二滑軌端部與第二擋塊之間通過第二鎖緊螺栓固定，底座上方安裝滑動(dòng)座，本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新穎，操作方便，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)晶圓的前后和左右移動(dòng)，能夠提高晶圓檢測(cè)效率。?? |
