一種自支撐金剛石膜的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510027177.5 申請日 -
公開（公告）號 CN104561925A 公開（公告）日 2015-04-29
申請公布號 CN104561925A 申請公布日 2015-04-29
分類號 C23C16/27(2006.01)I;C23C30/00(2006.01)I;C23F1/44(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于盛旺;高潔;劉小萍;鐘強;黑鴻君;申艷艷;賀志勇 申請（專利權(quán)）人 太原理工技術(shù)轉(zhuǎn)移有限公司
代理機構(gòu) 太原科衛(wèi)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 太原理工大學;太原理工技術(shù)轉(zhuǎn)移有限公司;山西新碳超硬材料科技有限公司
地址 030024 山西省太原市迎澤西大街79號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自支撐金剛石膜的制備方法，屬于化學氣相沉積金剛石膜技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明方法首先在硅基片上表面及側(cè)表面預(yù)沉積一層鈦金屬涂層，然后在含鈦金屬涂層的硅基片上表面再沉積一層鉬金屬涂層，再采用化學氣相沉積方法在預(yù)沉積鈦/鉬復(fù)合金屬涂層的硅基片上表面沉積金剛石膜，最后使用草酸溶液腐蝕樣品得到自支撐金剛石膜并回收硅基片重復(fù)使用。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有的優(yōu)點有：金剛石膜形核快，能縮短沉積時間；硅片可以重復(fù)使用，能降低生產(chǎn)成本；能夠避免常規(guī)酸腐蝕硅基片時造成的環(huán)境污染。