一種無(wú)鋁型II類超晶格長(zhǎng)波雙勢(shì)壘紅外探測(cè)器
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610351898.6 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN105789364B | 公開(公告)日 | 2018-07-06 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN105789364B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-07-06 |
分類號(hào) | H01L31/101;H01L31/11;H01L31/0352 | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 周易;陳建新;王芳芳;徐志成 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 中科愛畢賽思(常州)光電科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人 | 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 |
地址 | 213000 江蘇省常州市新北區(qū)華山中路23號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種無(wú)鋁型II類超晶格雙勢(shì)壘長(zhǎng)波紅外探測(cè)器,其具體結(jié)構(gòu)為GaSb襯底向上依次為超晶格長(zhǎng)波N型接觸層、超晶格空穴勢(shì)壘層、超晶格長(zhǎng)波吸收區(qū)、超晶格中波電子勢(shì)壘層和超晶格長(zhǎng)波P型接觸層,上電極TiPtAu位于超晶格長(zhǎng)波N型接觸層上,下電極TiPtAu位于超晶格長(zhǎng)波P型接觸層上。本發(fā)明公開的結(jié)構(gòu)利用無(wú)鋁型雙勢(shì)壘的設(shè)計(jì)和引入獲得暗電流小、探測(cè)率高,信噪比大的長(zhǎng)波超晶格紅外探測(cè)器。 |
