勢壘增強(qiáng)同型異質(zhì)結(jié)II類超晶格長/長波雙色紅外探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111275921.5 申請日 -
公開(公告)號 CN114068738A 公開(公告)日 2022-02-18
申請公布號 CN114068738A 申請公布日 2022-02-18
分類號 H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I;H01L31/103(2006.01)I;H01L31/11(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐志成;李光昊 申請(專利權(quán))人 中科愛畢賽思(常州)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京鐘山專利代理有限公司 代理人 李小靜
地址 213030江蘇省常州市新北區(qū)遼河路901號國家級企業(yè)孵化器D座1、2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種勢壘增強(qiáng)同型異質(zhì)結(jié)II類超晶格長/長波雙色紅外探測器,包括:在襯底上依次外延生長的緩沖層、P型第一歐姆接觸層,P型第一長波吸收層、P型空穴勢壘層、P型第二長波吸收層、P型第二歐姆接觸層;P型第一長波吸收層以及P型第二長波吸收層分別與P型空穴勢壘層形成同型摻雜異質(zhì)結(jié)。本發(fā)明公開的結(jié)構(gòu)通過偏壓調(diào)制實(shí)現(xiàn)了在長波段的雙色探測功能,結(jié)構(gòu)簡單;通過同型摻雜異質(zhì)結(jié)和單勢壘結(jié)構(gòu)的引入,相較于傳統(tǒng)NPPN結(jié)構(gòu)的雙色探測器,大幅降低了長波吸收區(qū)中的空間電場,有效抑制了吸收區(qū)中的產(chǎn)生?復(fù)合暗電流和隧穿暗電流,提高了器件的信噪比和探測率。