一種MEMS器件的封蓋分離裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921479855.1 申請日 -
公開（公告）號 CN210548691U 公開（公告）日 2020-05-19
申請公布號 CN210548691U 申請公布日 2020-05-19
分類號 B23K3/00 分類 機床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 龔慧蘭;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權(quán)）人 廈門睿析檢測技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京勁創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王志敏
地址 361000 福建省廈門市中國(福建)自由貿(mào)易試驗區(qū)廈門片區(qū)港中路1702號219單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種MEMS器件的封蓋分離裝置，包括MEMS器件夾具、設(shè)于MEMS器件夾具上端的加熱組件，以及設(shè)于MEMS器件夾具一側(cè)的封蓋分離組件，封蓋分離組件包括設(shè)于MEMS器件夾具一側(cè)的真空吸嘴、設(shè)于真空吸嘴中部的支架，以及與真空吸嘴連接的真空發(fā)生器，真空吸嘴與所述支架轉(zhuǎn)動連接。上述MEMS器件的封蓋分離裝置，使用時，將MEMS器件通過MEMS器件夾具夾緊，然后通過加熱組件對MEMS器件的封蓋進行加熱，使得封蓋下端的接合劑熱熔，接合劑失去粘性，再通過封蓋分離組件中的真空發(fā)生器，使得真空吸嘴吸緊封蓋，最后使真空吸嘴繞支架轉(zhuǎn)動，使得真空吸嘴帶動封蓋向上移動，脫離與MEMS器件其他部分的連接，實現(xiàn)高效、無損傷拆除封蓋，且成功率高。