一種靶材水道口防塌組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121513372.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215092855U 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN215092855U 申請公布日 2021-12-10
分類號 B24B29/02（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;王學澤;李闖;范文新 申請（專利權(quán)）人 武漢江豐電子材料有限公司
代理機構(gòu) 北京遠智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王巖
地址 430042湖北省武漢市東西湖區(qū)柏泉茅廟集街43號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種靶材水道口防塌組件，包括第一組件和與之相配合的第二組件；所述第一組件依次分為A段、B段和C段；所述A段的長度＜所述C段的長度＜所述B段的長度；所述B段為弧形凹結(jié)構(gòu)；所述第二組件為空心結(jié)構(gòu)；所述第二組件的空心結(jié)構(gòu)和所述第一組件過渡配合；所述A段的寬度＞所述B段的寬度＞所述C段的寬度。通過利用組件間的過渡配合，實現(xiàn)對水口孔道中不同位置進行不同膨脹配合保護，從而使得在拋光過程中孔道不會出現(xiàn)坍塌也不會出現(xiàn)由于加工過程中應(yīng)力的形成所導致的側(cè)壁鼓包等問題，從而提升靶材加工的成品率，避免因為水道口加工過程中造成的加工問題而導致的報廢，顯著降低企業(yè)的生產(chǎn)成本。