一種大轉(zhuǎn)角高頻率一維電磁驅(qū)動微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020914189.6 申請日 -
公開（公告）號 CN212181160U 公開（公告）日 2020-12-18
申請公布號 CN212181160U 申請公布日 2020-12-18
分類號 G02B26/08 分類 光學(xué);
發(fā)明人 余暉俊;沈文江 申請（專利權(quán)）人 中科融合感知智能研究院（蘇州工業(yè)園區(qū)）有限公司
代理機構(gòu) 蘇州思睿晶華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 中科融合感知智能研究院（蘇州工業(yè)園區(qū)）有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道88號人工智能產(chǎn)業(yè)園G2-1801
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種大轉(zhuǎn)角高頻率一維電磁驅(qū)動微鏡，包括驅(qū)動外框、驅(qū)動線圈、外框扭轉(zhuǎn)軸、內(nèi)部鏡面和內(nèi)部扭轉(zhuǎn)軸；所述驅(qū)動線圈固定安裝在驅(qū)動外框內(nèi)部；所述外框扭轉(zhuǎn)軸一端伸出驅(qū)動外框，另一端穿過驅(qū)動線圈向內(nèi)延伸；所述外框扭轉(zhuǎn)軸向內(nèi)延伸端與內(nèi)部扭轉(zhuǎn)軸連接；所述內(nèi)部鏡面通過內(nèi)部扭轉(zhuǎn)軸安裝在驅(qū)動外框內(nèi)；所述外框扭轉(zhuǎn)軸上設(shè)有驅(qū)動導(dǎo)線；所述驅(qū)動導(dǎo)線將驅(qū)動信號引入驅(qū)動線圈；所述驅(qū)動線圈控制內(nèi)部扭轉(zhuǎn)軸驅(qū)動使內(nèi)部鏡面發(fā)生偏轉(zhuǎn)運動；本實用新型采用驅(qū)動外框與內(nèi)部鏡面分離的設(shè)計，驅(qū)動外框與內(nèi)部鏡面具有不同的工作頻率，且內(nèi)部鏡面的內(nèi)部扭轉(zhuǎn)軸上沒有驅(qū)動導(dǎo)線，實現(xiàn)了高頻率大轉(zhuǎn)角的掃描，提高了微鏡的使用壽命。