一種帶有清洗裝置的自動(dòng)化硅片脫膠機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111566588.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114345819A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114345819A 申請(qǐng)公布日 2022-04-15
分類號(hào) B08B3/10（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 蔡鵬;何飛;洪布雙 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇德潤(rùn)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京申云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王世超
地址 225600江蘇省揚(yáng)州市高郵經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)凌波路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了脫膠機(jī)技術(shù)領(lǐng)域的一種帶有清洗裝置的自動(dòng)化硅片脫膠機(jī)，包括脫膠機(jī)主體，脫膠機(jī)主體前側(cè)壁開(kāi)設(shè)有三組工作窗口，脫膠槽體內(nèi)左右側(cè)壁均設(shè)有加熱板，脫膠槽體后側(cè)壁設(shè)有循環(huán)過(guò)濾組件，脫膠槽體左側(cè)壁設(shè)有安裝架，安裝架頂部設(shè)有安裝板，繞線輥外壁套接設(shè)有繩索，繩索自由端連接設(shè)有連接繩,連接繩兩端均設(shè)有掛鉤，脫膠槽體上方設(shè)有放置架，放置架頂部前后兩側(cè)均鉸接設(shè)有與掛鉤相匹配的安裝環(huán)，本發(fā)明設(shè)置多組轉(zhuǎn)動(dòng)的放置板，將硅片放置在放置板上，繩索帶動(dòng)放置架進(jìn)入到脫膠槽體內(nèi)，方便上下料，同時(shí)在多組放置板的作用下防止硅片在脫膠清洗時(shí)發(fā)生碰撞的效果，解決了現(xiàn)有的清洗籃在進(jìn)行脫膠清洗時(shí)硅片易發(fā)生碰撞的問(wèn)題。