一種帶有廢水收集裝置的全自動硅片清洗機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111508517.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114178235A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114178235A 申請公布日 2022-03-15
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 何飛;洪布雙;蔡鵬 申請（專利權）人 江蘇德潤光電科技有限公司
代理機構 南京申云知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 王世超
地址 225600江蘇省揚州市高郵經(jīng)濟開發(fā)區(qū)凌波路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了硅片加工設備技術領域的一種帶有廢水收集裝置的全自動硅片清洗機，包括，清洗箱，包括箱體，所述箱體前側和底部均呈開口狀，所述箱體兩側內壁的底部均設置有導軌，且兩組所述導軌均與活動框滑動連接，所述活動框的中部均勻設置有安裝板，且安裝板的頂部均勻設置有放置座，所述箱體的前側鉸接有箱門，所述箱體兩側的中部均通過軸承轉動連接有轉軸，且兩組所述轉軸的相對側均與噴淋盤連接，齒條可以帶動齒輪做正反交替旋轉，進而能夠帶動噴淋盤做正反交替擺動，從而可以對硅片進行多角度噴洗，清洗更加全面，且通過偏心輪和彈簧，使得電機帶動偏心輪單向旋轉即可帶動噴淋盤正反交替擺動，降低了電機的能耗。