一種帶有廢水收集裝置的全自動(dòng)硅片清洗機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111508517.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114178235A 公開（公告）日 2022-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114178235A 申請(qǐng)公布日 2022-03-15
分類號(hào) B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 何飛;洪布雙;蔡鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇德潤光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京申云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王世超
地址 225600江蘇省揚(yáng)州市高郵經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)凌波路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了硅片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域的一種帶有廢水收集裝置的全自動(dòng)硅片清洗機(jī)，包括，清洗箱，包括箱體，所述箱體前側(cè)和底部均呈開口狀，所述箱體兩側(cè)內(nèi)壁的底部均設(shè)置有導(dǎo)軌，且兩組所述導(dǎo)軌均與活動(dòng)框滑動(dòng)連接，所述活動(dòng)框的中部均勻設(shè)置有安裝板，且安裝板的頂部均勻設(shè)置有放置座，所述箱體的前側(cè)鉸接有箱門，所述箱體兩側(cè)的中部均通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸，且兩組所述轉(zhuǎn)軸的相對(duì)側(cè)均與噴淋盤連接，齒條可以帶動(dòng)齒輪做正反交替旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而能夠帶動(dòng)噴淋盤做正反交替擺動(dòng)，從而可以對(duì)硅片進(jìn)行多角度噴洗，清洗更加全面，且通過偏心輪和彈簧，使得電機(jī)帶動(dòng)偏心輪單向旋轉(zhuǎn)即可帶動(dòng)噴淋盤正反交替擺動(dòng)，降低了電機(jī)的能耗。