一種帶有魚鱗狀凸起的化學(xué)機械拋光墊

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020792996.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212071567U 公開（公告）日 2020-12-04
申請公布號 CN212071567U 申請公布日 2020-12-04
分類號 B24B37/26(2012.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 朱文獻 申請（專利權(quán)）人 昂士特科技（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 代理人 昂士特科技（深圳）有限公司
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道長源社區(qū)學(xué)苑大道1001號南山智園C3棟201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種帶有魚鱗狀凸起的化學(xué)機械拋光墊，包括拋光墊基體，所述拋光墊基體為圓形，所述拋光墊基體的表面均勻設(shè)置有若干排魚鱗狀分布的凸起，每一所述凸起的橫截面設(shè)置呈圓形，且所述凸起的中心厚邊沿薄，每排所述凸起靠近所述拋光墊基體邊沿的位置設(shè)置有相適配的用于填充鱗片。本實用新型技術(shù)方案簡單實用，旨在提高抗碎物戳刺破壞能力，提高其使用壽命，節(jié)省更換拋光墊成本。??