一種帶有凸起結(jié)構(gòu)的化學(xué)機(jī)械拋光墊
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020630116.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211992444U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請公布號 | CN211992444U | 申請公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號 | B24B37/26(2012.01)I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 朱文獻(xiàn) | 申請（專利權(quán)）人 | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 | 代理人 | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道長源社區(qū)學(xué)苑大道1001號南山智園C3棟201 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種帶有凸起結(jié)構(gòu)的化學(xué)機(jī)械拋光墊，包括：拋光墊基板和均勻分布設(shè)置在所述拋光墊基板上的若干凸起，相鄰的兩所述凸起間隔設(shè)置形成有溝槽；每一所述凸起的頂面呈內(nèi)凹球面或外凸球面設(shè)置；所述內(nèi)凹球面或所述外凸球面的半徑小于所述凸起的高度。本實(shí)用新型技術(shù)方案利用凸起頂部的內(nèi)凹球面或者外凸球面以增加拋光墊有效面積，提高材料去除效率；凸起之間的溝槽利于拋光液均勻分配和流動。?? |
