一種具有工件擺動裝置的化學(xué)機械拋光設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020554303.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211992443U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請公布號 | CN211992443U | 申請公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號 | B24B37/10(2012.01)I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 朱文獻 | 申請（專利權(quán)）人 | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 | 代理人 | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道長源社區(qū)學(xué)苑大道1001號南山智園C3棟201 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種具有工件擺動裝置的化學(xué)機械拋光設(shè)備，包括：工作臺、轉(zhuǎn)盤、砝碼組、限位環(huán)和擺動組件，工作臺中部開設(shè)有容納轉(zhuǎn)盤的避位開口，轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動設(shè)置在避位開口內(nèi)，轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有拋光墊，限位環(huán)設(shè)置在拋光墊上，砝碼組設(shè)置在限位環(huán)內(nèi)，砝碼組用于壓緊工件；擺動組件包括懸臂、兩彈簧組件、旋轉(zhuǎn)支架和轉(zhuǎn)軸，兩彈簧組件對稱設(shè)置在工作臺上，且位于避位開口的一側(cè)；轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在工作臺上，且位于兩彈簧組件的中部，旋轉(zhuǎn)支架固定在轉(zhuǎn)軸上，懸臂剛性連接在旋轉(zhuǎn)支架上；懸臂遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)支架的一側(cè)向內(nèi)凹設(shè)有圓弧槽，圓弧槽的兩端設(shè)置有滾輪，兩滾輪與限位環(huán)抵接。本實用新型技術(shù)方案簡單實用，旨在改善提高化學(xué)機械拋光工藝的均勻性。?? |
