一種流體控溫式的化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020439161.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211805514U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211805514U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-30 |
| 分類(lèi)號(hào) | B24B37/11(2012.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 王家雄 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市中科創(chuàng)為專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人 | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道長(zhǎng)源社區(qū)學(xué)苑大道1001號(hào)南山智園C3棟201 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種流體控溫式的化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái)，包括：具有中空腔的拋光盤(pán)、具有流體通道的旋轉(zhuǎn)軸、圓筒底座、進(jìn)液管和流體恒溫反應(yīng)器；所述拋光盤(pán)中心底部設(shè)置有連接座，所述連接座與所述旋轉(zhuǎn)軸頂部緊密連接，所述連接座內(nèi)開(kāi)設(shè)有連接所述中空腔和所述流體通道的連接腔，所述旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)防水軸承設(shè)置在所述圓筒底座上，所述進(jìn)液管的一端依次穿過(guò)所述圓筒底座、所述流體通道和所述連接腔，并位于所述中空腔內(nèi)；所述圓筒底座還開(kāi)設(shè)有與所述流體通道連通的流體出口；所述流體出口和所述進(jìn)液管遠(yuǎn)離所述拋光盤(pán)的一端分別與所述流體恒溫反應(yīng)器連接。本實(shí)用新型技術(shù)方案旨在實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制拋光溫度的目的。?? |
