一種管式流體控溫的化學(xué)機(jī)械拋光盤

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020430992.2 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN211805516U 公開(公告)日 2020-10-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN211805516U 申請(qǐng)公布日 2020-10-30
分類號(hào) B24B37/16(2012.01)I 分類 -
發(fā)明人 王家雄 申請(qǐng)(專利權(quán))人 昂士特科技(深圳)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 代理人 昂士特科技(深圳)有限公司
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道長(zhǎng)源社區(qū)學(xué)苑大道1001號(hào)南山智園C3棟201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種管式流體控溫的化學(xué)機(jī)械拋光盤,拋光盤包括面板和底盤,底盤上表面開設(shè)有與盤旋管適配的凹槽,盤旋管嵌設(shè)在凹槽內(nèi),面板設(shè)置在底盤上且與盤旋管緊密抵接;底盤的下表面中部設(shè)置有連接座,連接座內(nèi)開設(shè)有兩端具有開口的連接腔,底盤設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸上,旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)開設(shè)有兩端具有開口的流體通道,連接腔兩端分別與流體通道和盤旋管的出口端連通;旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)防水軸承轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在圓筒底座上,第二進(jìn)液管的一端穿設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸內(nèi);第一進(jìn)液管位于連接腔內(nèi),第一進(jìn)液管的一端連接盤旋管位于拋光盤中央的入口,另一端通過(guò)快速接口與第二進(jìn)液管連接;圓筒底座上開設(shè)有與流體通道連通的流體出口。本實(shí)用新型技術(shù)方案旨在實(shí)現(xiàn)按照拋光要求被加熱或冷卻拋光盤。??