一種基于平面波導(dǎo)的光開關(guān)及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510988192.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105549151A 公開（公告）日 2016-05-04
申請公布號 CN105549151A 申請公布日 2016-05-04
分類號 G02B6/125(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 康秀杰;伏碧德;白春;龔婧瑤 申請（專利權(quán)）人 上海圣治光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 龔婧瑤;上海圣治光電科技有限公司
地址 上海市長寧區(qū)新華路726號12號樓1802室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種平面波導(dǎo)的光開關(guān)及其制造方法。本發(fā)明就是提供一種結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，便于系統(tǒng)集成，可以同時解決現(xiàn)有光開關(guān)的波長敏感性和溫度敏感性問題的一種基于平面波導(dǎo)的光開關(guān)及其制造方法。一種基于平面波導(dǎo)的光開關(guān)包括平面襯底和設(shè)置在平面襯底上的M-Z干涉儀，其結(jié)構(gòu)要點在于M-Z干涉儀包括入射波導(dǎo)、3dB耦合器、出射波導(dǎo)和并聯(lián)在兩個3dB耦合器之間的主波導(dǎo)、分支波導(dǎo)，主波導(dǎo)表面設(shè)置有金屬加熱器，主波導(dǎo)包括兩種熱光色散系數(shù)材料組成兩個波導(dǎo)分支。