激光三維成像MEMS二維掃描鏡的轉(zhuǎn)角測量裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410341496.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104111041B 公開（公告）日 2016-11-30
申請公布號 CN104111041B 申請公布日 2016-11-30
分類號 G01B11/26(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫劍;尤政;徐飛 申請（專利權(quán)）人 西安深銳智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 陸萬壽
地址 710049 陜西省西安市咸寧西路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種掃描鏡轉(zhuǎn)動角度的測量方法，尤其涉及激光三維成像MEMS二維掃描鏡的轉(zhuǎn)角測量裝置及方法，該裝置包括脈沖激光器以及連續(xù)激光器，在脈沖激光器的激光光軸上設(shè)置有三號光學(xué)鏡片，在連續(xù)激光器的激光光軸上設(shè)置有一號光學(xué)鏡片；一號光學(xué)鏡片位于脈沖激光器的激光光軸與連續(xù)激光器的激光光軸重合處；在一號光學(xué)鏡片正后方設(shè)置有二維掃描鏡；二維掃描鏡的反射光路上依次固定有二號光學(xué)鏡片以及二維PSD，二維PSD的輸出端與PSD信號采集電路的輸入端連接；光學(xué)鏡片與采樣同步電路的輸入端連接，采樣同步電路的輸出端與PSD信號采集電路的輸入端連接。本發(fā)明.結(jié)構(gòu)簡單，精度較高；實時性強(qiáng)，測量范圍大。