基于薄膜襯底的柔性器件的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010439740.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111430291A 公開（公告）日 2020-07-17
申請公布號 CN111430291A 申請公布日 2020-07-17
分類號 H01L21/683;H01L27/12;H01L21/77 分類 -
發(fā)明人 王云翔;李瑾;冒薇;王豐梅 申請（專利權(quán)）人 蘇州研材微納科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 韓鳳
地址 215121 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)11幢401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于薄膜襯底的柔性器件的制備方法。其包括如下步驟：步驟1、在第一輔助支撐體上旋涂得到柔性薄膜第一襯底；步驟2、進(jìn)行前烘工藝；步驟3、進(jìn)行固化烘烤工藝；步驟4、旋涂得到柔性薄膜第一光刻膠層；步驟5、得到柔性薄膜第一光刻膠層窗口；步驟6、利用柔性薄膜第一光刻膠層以及柔性薄膜第一光刻膠層窗口制備所需的柔性薄膜第一金屬層；步驟7、利用上述的柔性薄膜第一金屬層在柔性薄膜第一襯底上形成柔性薄膜第一器件層；步驟8、將上述柔性薄膜第一襯底與第一輔助支撐體分離，形成所需的柔性器件。本發(fā)明能有效實(shí)現(xiàn)柔性器件的制備，與現(xiàn)有工藝兼容，降低生產(chǎn)成本，適應(yīng)范圍廣，安全可靠。