單片襯底用工藝夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020464686.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211350613U | 公開（公告）日 | 2020-08-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211350613U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-25 |
| 分類號(hào) | H01L21/687(2006.01)I;B25B11/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 李瑾;冒薇;王豐梅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州研材微納科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國誠專利代理有限公司 | 代理人 | 韓鳳 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)11幢401室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種工藝夾具，尤其是一種單片襯底用工藝夾具，屬于襯底加工的技術(shù)領(lǐng)域。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述單片襯底用工藝夾具，包括能支撐襯底的襯底托盤以及與所述襯底托盤固定連接的托盤手柄，在所述襯底托盤內(nèi)設(shè)置若干漏液孔，所述漏液孔貫通襯底托盤；通過托盤手柄能帶動(dòng)襯底托盤上的襯底進(jìn)行所需的運(yùn)動(dòng)，通過漏液孔加速液體流動(dòng)，以平衡浸沒在溶液內(nèi)襯底上的液體壓力。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，能滿足單片襯底的手工處理需求，提高工藝中對(duì)襯底上薄膜結(jié)構(gòu)的壓力平衡保護(hù)，提高對(duì)單片襯底的手工處理便捷性，減少襯底在工藝中產(chǎn)生污染，提高對(duì)單片襯底處理的可靠性。?? |
