微流控器件及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010439553.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111569964A | 公開（公告）日 | 2020-08-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111569964A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-25 |
| 分類號(hào) | B01L3/00(2006.01)I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 王云翔;李瑾;冒薇;王豐梅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州研材微納科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國(guó)誠(chéng)專利代理有限公司 | 代理人 | 韓鳳 |
| 地址 | 215121江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)11幢401室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種微流控器件及其制備方法，屬于微流控器件的技術(shù)領(lǐng)域。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述微流控器件，包括微流道襯底以及位于所述微流道襯底正上方的玻璃片，在所述玻璃片鄰近微流道襯底的一側(cè)表面設(shè)置金屬電極層，在微流道襯底鄰近玻璃片的表面設(shè)置SU8支撐體以及與所述SU8支撐體適配的微流道；金屬電極層能與SU8支撐體鍵合固定，玻璃片通過(guò)鍵合后的金屬電極層與SU8支撐體支撐在微流道襯底上，玻璃片上的片體孔與微流道襯底上的微流道對(duì)應(yīng)，片體孔貫通玻璃片，且片體孔與正對(duì)應(yīng)的微流道連通。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，與現(xiàn)有工藝兼容，降低生產(chǎn)及使用成本，安全可靠。?? |
