微流控器件及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010439553.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111569964B 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN111569964B 申請公布日 2022-03-04
分類號 B01L3/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 王云翔;李瑾;冒薇;王豐梅 申請（專利權(quán)）人 蘇州研材微納科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 韓鳳
地址 215121江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)11幢401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種微流控器件及其制備方法，屬于微流控器件的技術(shù)領(lǐng)域。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述微流控器件，包括微流道襯底以及位于所述微流道襯底正上方的玻璃片，在所述玻璃片鄰近微流道襯底的一側(cè)表面設(shè)置金屬電極層，在微流道襯底鄰近玻璃片的表面設(shè)置SU8支撐體以及與所述SU8支撐體適配的微流道；金屬電極層能與SU8支撐體鍵合固定，玻璃片通過鍵合后的金屬電極層與SU8支撐體支撐在微流道襯底上，玻璃片上的片體孔與微流道襯底上的微流道對應(yīng)，片體孔貫通玻璃片，且片體孔與正對應(yīng)的微流道連通。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，與現(xiàn)有工藝兼容，降低生產(chǎn)及使用成本，安全可靠。