多個方片式襯底用工藝夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020461557.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211867583U 公開（公告）日 2020-11-06
申請公布號 CN211867583U 申請公布日 2020-11-06
分類號 B25B11/00(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設備；機械手;
發(fā)明人 李瑾;冒薇;王豐梅 申請（專利權）人 蘇州研材微納科技有限公司
代理機構 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 韓鳳
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)11幢401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種工藝夾具，尤其是一種多個方片式襯底用工藝夾具，屬于襯底加工的技術領域。按照本實用新型提供的技術方案，所述多個方片式襯底用工藝夾具，包括能同時收納多個方片襯底的襯底托盤以及與所述襯底托盤固定連接的托盤手柄；所述襯底托盤包括兩個對應分布的放片托，在每個放片托對應相鄰的內側均設置能與方片襯底適配的放片槽；通過兩個放片托上相對應的放片槽形成能滿足方片襯底豎向放置的襯底豎向嵌置槽，兩個放片托間形成能收納豎向放置的方片襯底端角的端角收納腔。本實用新型結構緊湊，能同時滿足多個襯底的手工處理需求，提高對多個襯底的手工處理便捷性，減少襯底在工藝中產(chǎn)生污染，提高對襯底處理中的可靠性。??