半導(dǎo)體器件收容裝置的承托組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111132436.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113571455B 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN113571455B 申請公布日 2022-02-01
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;B08B11/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 華斌;孫先淼;時新宇;李文軒 申請（專利權(quán)）人 智程半導(dǎo)體設(shè)備科技（昆山）有限公司
代理機構(gòu) 蘇州友佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 儲振
地址 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)玉楊路299號3號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件收容裝置的承托組件，用于承托半導(dǎo)體器件收容裝置，包括承托懸臂，連接承托懸臂的支撐組件及第一驅(qū)動裝置；承托懸臂包括承托半導(dǎo)體器件收容裝置的承托部、連接板及基板，承托部由水平插接的承托板與承托支架組成，半導(dǎo)體器件收容裝置的底部形成暴露半導(dǎo)體器件的敞口，承托板設(shè)置位于敞口下方并可轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)棍，旋轉(zhuǎn)棍與半導(dǎo)體器件的邊緣相接觸，第一驅(qū)動裝置通過動力傳動件驅(qū)動旋轉(zhuǎn)棍轉(zhuǎn)動，以通過旋轉(zhuǎn)棍對插入半導(dǎo)體器件收容裝置中的半導(dǎo)體器件的邊緣施加旋轉(zhuǎn)力。本發(fā)明有效地解決了半導(dǎo)體器件與卡槽的內(nèi)壁面接觸的邊緣處無法有效去除化學(xué)膠及雜質(zhì)的技術(shù)問題，并實現(xiàn)了濕法蝕刻的均勻性。