一種異丙醇廢液提純方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010889363.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113943209A 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN113943209A 申請公布日 2022-01-18
分類號 C07C29/76（2006.01）I;C07C31/10（2006.01）I 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 楊仕品;孫先淼 申請（專利權(quán)）人 智程半導(dǎo)體設(shè)備科技（昆山）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)玉城南路3號12號廠房1F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種異丙醇廢液提純方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過程中去膠清洗和干燥產(chǎn)生的異丙醇廢液，包括以下步驟：對異丙醇廢液進行過濾，以去除廢液中的部分光刻膠及顆粒物；將過濾后的異丙醇廢液通入至蒸發(fā)模組進行加熱蒸發(fā)，使得異丙醇?水共沸物蒸發(fā)成氣態(tài)，沸點較高的去膠液仍然保持液態(tài)，實現(xiàn)兩者的氣液分離；將所述異丙醇?水共沸物的蒸汽通過滲透汽化膜分離模組，以分離異丙醇蒸汽和水蒸汽；冷卻異丙醇蒸汽，以獲得提純后的液化異丙醇，本發(fā)明還提供一種利用異丙醇廢液提純方法的裝置，由此，本發(fā)明可提取到純度達到99.7％以上的異丙醇，實現(xiàn)循環(huán)利用，節(jié)約能源，避免了環(huán)境污染。