一種石英管清洗干燥裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111279721.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113953276A 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號(hào) CN113953276A 申請公布日 2022-01-21
分類號(hào) B08B9/023（2006.01）I;B08B9/032（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 華斌;劉國強(qiáng);宗君穎 申請（專利權(quán)）人 智程半導(dǎo)體設(shè)備科技（昆山）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州友佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 儲(chǔ)振
地址 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)玉楊路299號(hào)3號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種石英管清洗干燥裝置，包括：底部具敞口的清洗罩與清洗罩沿垂直方向活動(dòng)插接裝配的底座，設(shè)置于底座內(nèi)并箍持石英管的承載臺(tái)，以及第一驅(qū)動(dòng)裝置；清洗罩的頂部內(nèi)置一清洗帽及驅(qū)動(dòng)清洗帽作升降運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，清洗帽遮蔽石英管的弧形封閉端并與石英管的弧形封閉端分離，清洗帽的內(nèi)壁面設(shè)置側(cè)向連續(xù)間隔布置的若干第一噴嘴；底座嵌設(shè)回旋密封裝置，承載臺(tái)垂直設(shè)置內(nèi)噴管，內(nèi)噴管沿垂直方向連續(xù)貫穿承載臺(tái)與回旋密封裝置；第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)承載臺(tái)旋轉(zhuǎn)，內(nèi)噴管在承載臺(tái)旋轉(zhuǎn)過程中保持靜止。本發(fā)明有效地解決了石英管在旋轉(zhuǎn)清洗過程中可能發(fā)生的傾覆及旋轉(zhuǎn)姿態(tài)不穩(wěn)定的問題，滿足了不同直徑石英管的清洗與干燥需求。