石英管清洗裝置及清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111059562.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113500070B 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN113500070B 申請公布日 2022-02-01
分類號 B08B9/28（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 華斌;周訓(xùn)丙;萬幫勇;李文軒 申請（專利權(quán)）人 智程半導(dǎo)體設(shè)備科技（昆山）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州友佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 儲振
地址 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)玉楊路299號3號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種石英管清洗裝置及清洗方法，該石英管清洗裝置包括底部具敞口的清洗罩，與清洗罩沿垂直方向活動插接裝配的底座，設(shè)置于底座內(nèi)并箍持石英管的承載臺，以及驅(qū)動裝置；清洗罩的頂部設(shè)置第一噴嘴，清洗罩的側(cè)壁豎直設(shè)置若干第二噴嘴，承載臺垂直設(shè)置內(nèi)噴管，內(nèi)噴管位于承載臺上方的頂部和側(cè)部設(shè)置若干第三噴嘴；底座嵌設(shè)回旋密封裝置，內(nèi)噴管沿垂直方向連續(xù)貫穿承載臺與回旋密封裝置；驅(qū)動裝置驅(qū)動承載臺旋轉(zhuǎn)，內(nèi)噴管在承載臺旋轉(zhuǎn)過程中保持靜止。通過申請，實現(xiàn)了對各種尺寸的石英管進(jìn)行高效清洗作業(yè)，能夠滿足不同直徑石英管清洗的需求，簡化了石英管清洗裝置的結(jié)構(gòu)并提高了使用壽命，避免了石英管在清洗過程中造成損壞。